VOCS廢氣處理常用的方法有吸附法、吸收法、催化燃燒法、熱力燃燒法、光催化氧化等。選用凈化方法時，應根據具體情況由縣選用費用低、耗能少、無二次污染的方法，盡量做到化害為利，充分回收利用成分和余熱。多數情況下，石油化工業因排氣濃度高，采用冷凝、吸收、光催化氧化、直接燃燒等方法；涂料施工、印刷等行業因排氣濃度低，采用吸附、光催化氧化、催化燃燒等方法。

　　VOCS廢氣處理的工藝的特性：

　　(1)旁路內循環的建立。當廢氣經過吸附區的吸附之后，會產生一些不達標的廢氣，這些廢氣就會進入旁路的內循環，從而進行再吸附處理，這個旁路的內循環的主要目的就是消除已有的污染和再次吸收新的污染。

　　(2)旁路建立冷卻風系統。當情況復雜的工況下，VOCs的濃度可能會瞬間增高，在這個時候，有少部分的風量會分到吸附區，從而降低風量的脫附，與此同時，會在傳熱2之后添加新風，用來維持進入催化反應器的風量的額定范圍，這個旁路是以新鮮的風對高濃度的VOCs進行稀釋，但是這個方法會把工藝的時間變長。

　　(3)由于對旁路的控制變得方便，這是有別于傳統的工藝，整個系統之中添加了引風機這個裝置，傳統的工藝，只是去掉了催化燃燒裝置中的降溫鼓風機，這個方法不能從根本上解決問題，因而，新的工藝把控制VOCs濃度的裝置改在了轉輪部分。

　　(4)在新的工藝中，把催化燃燒室的電輔系統變成在傳熱2中把空氣加熱到能夠把VOCs的燃燒溫度，與此同時，會在反應放熱時把催化燃燒室的溫度保持在500-600oC。

　　(5)在不同的情況下，轉輪會有所改變，在2的這種情況下，就可以適當的升高轉輪的轉速，把單位時間內能夠吸附VOCs的量適當減少，以此來確保系統的安全可靠。