VOCS廢氣處理常用的方法有吸附法、吸收法、催化燃燒法、熱力燃燒法、光催化氧化等。選用凈化方法時，應根據具體情況由縣選用費用低、耗能少、無二次污染的方法，盡量做到化害為利，充分回收利用成分和余熱。多數(shù)情況下，石油化工業(yè)因排氣濃度高，采用冷凝、吸收、光催化氧化、直接燃燒等方法；涂料施工、印刷等行業(yè)因排氣濃度低，采用吸附、光催化氧化、催化燃燒等方法。

　　VOCS廢氣處理的工藝的特性：

　　(1)旁路內循環(huán)的建立。當廢氣經過吸附區(qū)的吸附之后，會產生一些不達標的廢氣，這些廢氣就會進入旁路的內循環(huán)，從而進行再吸附處理，這個旁路的內循環(huán)的主要目的就是消除已有的污染和再次吸收新的污染。

　　(2)旁路建立冷卻風系統(tǒng)。當情況復雜的工況下，VOCs的濃度可能會瞬間增高，在這個時候，有少部分的風量會分到吸附區(qū)，從而降低風量的脫附，與此同時，會在傳熱2之后添加新風，用來維持進入催化反應器的風量的額定范圍，這個旁路是以新鮮的風對高濃度的VOCs進行稀釋，但是這個方法會把工藝的時間變長。

　　(3)由于對旁路的控制變得方便，這是有別于傳統(tǒng)的工藝，整個系統(tǒng)之中添加了引風機這個裝置，傳統(tǒng)的工藝，只是去掉了催化燃燒裝置中的降溫鼓風機，這個方法不能從根本上解決問題，因而，新的工藝把控制VOCs濃度的裝置改在了轉輪部分。

　　(4)在新的工藝中，把催化燃燒室的電輔系統(tǒng)變成在傳熱2中把空氣加熱到能夠把VOCs的燃燒溫度，與此同時，會在反應放熱時把催化燃燒室的溫度保持在500-600oC。

　　(5)在不同的情況下，轉輪會有所改變，在2的這種情況下，就可以適當?shù)纳咿D輪的轉速，把單位時間內能夠吸附VOCs的量適當減少，以此來確保系統(tǒng)的安全可靠。