RTO廢氣處理的工藝流程：

　　把有機廢氣加熱升溫至800℃，使廢氣中的VOC氧化分解，成為無害的CO2和H2O；氧化時的高溫氣體的熱量被蓄熱體“貯存”起來，用于預熱新進入的有機廢氣，從而節省升溫所需要的燃料消耗，降低運行成本。

　　1、有機廢氣經高壓引風機進入蓄熱室1的保留了上一循環熱量的陶瓷介質層后，陶瓷釋放熱量，溫度降低，而有機廢氣吸收熱量，溫度升高。廢氣離開蓄熱室后，以較高的溫度進入燃燒室，準備進行氧化。

　　2、在燃燒室中，有機廢氣再由燃燒器加熱燃燒，加熱升溫至設定的氧化溫度，此時溫度為設定的800℃，使有機物被分解成二氧化碳和水。由于廢氣已在蓄熱室1內進行過預熱，燃燒器的燃料用量大為減少。

　　3、廢氣流經蓄熱室1升溫后進入氧化室焚燒，成為凈化后的高溫氣體后離開氧化室，進入在上一循環已冷卻的蓄熱室2。在此氣體釋放熱量，降溫后排出，而蓄熱室2吸收大量熱量后升溫，其吸收的熱量用于下一個循環加熱廢氣。在此同時，廢氣引風機經由反吹風管，從蓄熱室3抽出少許前一循環殘留在其中的微量有機氣體，回送至廢氣風機進口處，再送入燃燒室中進行焚燒，此部分氣體同處理后氣體一起離開蓄熱室2，經熱回收設備排入大氣。

　　4、在燃燒室中，有機廢氣再由燃燒器加熱燃燒，加熱升溫至設定的氧化溫度，此時溫度同樣為設定的800℃，使有機物被分解成二氧化碳和水。由蓄熱室3排出。

　　5、在此同時，由廢氣引風機抽出少許前一循環殘留在蓄熱室1中的微量有機氣體，再送至燃燒室中進行焚燒，此部分氣體同處理后氣體一起離開蓄熱室3，經熱回收設備排入大氣。如此交替循環。